特 長
- 本裝備的首要感化是去除晶體振蕩器在加工進程中發生的內部應力誤差,使其電極膜加倍不變化。
- 本裝備配有W460 × D350 × H35mm的加熱架擺布各10層,最多能夠擺放 170 × 134mm 尺寸的規范托盤60片。
- 本裝備設想有2個能夠自力任務的退火室,進步了出產效力,延長了出產周期。
尺寸 / 分量
- 形狀尺寸
- W1700 × D900 × H1700 毫米
- 設置分量
- 約2500 kg
性 能
- 達到壓力
- 低于 6.7 × 10-4 Pa (雙槽排氣)
- 排氣時辰
- 20分鐘達到 6.7 × 10-3Pa (雙槽排氣)
- 最高溫度
- 300°C (試料用托盤中心部的外表溫度)
- 經常利用溫度
- 250°C (試料用托盤中心部的外表溫度)
- 溫度調劑精度
- ±15°C (250°C,試料用托盤中心部的外表溫度)
- 升溫時辰
- 約60分鐘從常溫達到 250°C
- 處置數
- 60片(利用170mm × 134mm 托盤時)
- 排氣體系
- 渦輪份子泵、扭轉機器泵
- 真空計
- 彭寧真空計 × 2
皮拉尼真空計 × 2
內部須要前提
- 所需電量
- 三相, 200V, 22.4 kVA (64.7 A)
- 所需水量
- 輸出壓力: 0.3 ~ 0.4 MPa
壓力差: 0.2 MPa 以上
水溫: 20 ~ 25°C (以運轉中無結露為前提)
流量: 約0.66 m 3 /hr (11 L/min) - 所需空壓
- 供應壓力: 0.5 ~ 0.7 MPa
設定壓力: 0.5 MPa - 所需氣體
(N2氣體氣餒用) - 供應壓力: 0.2 MPa 以上
設定壓力: 0.05 ~ 0.1 MPa
※裝備規格/表面可改進或變革。
※本產物有外匯和計謀物質按照國際商業辦理體例的劃定相稱出口限定物品的環境。 因此在把符合合品拿到日本外洋的時辰拿到日本國當局的出口允許請求須要的手續。